产品

MASP制程蚀刻SCC-MET

MSAP制程蚀刻SCC-MET

MSAP制程蚀刻SCC-MET产品简介

产品特性

适合电路形成蚀刻、干膜压膜前处理、阻焊剂涂布前处理、电镀前处理

可解决电镀后针孔、侧蚀的情况

蚀刻速度快(4-5μm/min),线路蚀刻干净,无残铜

蚀刻前后图形与设计值尺寸变化小,且蚀刻后图形顶部平坦,底部无细缝

可抑制VIA、PTH的拐角部的过蚀刻,保证其内部蚀刻均匀

圆弧率小于25%

工艺参数

蚀刻速率<0.5μm

蚀刻针孔<100